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等离子清洗机为什么会产生辉光呢?

      等离子清洗机在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体变稀薄,分子之间的间距和分子或离子的自由运动的距离也越来越长,而后通过电场作用发生碰撞而形成等离子体。离子是没有方向性及规则性的,发生反应时离子不断抨击物体的表面使之产生相互碰撞,不同气体发出辉光颜色不同,是因为发生了不同的物理反应。利用等离子处理会发出辉光,又称之为辉光放电处理。

等离子清洗机

      辉光放电在两极电场的作用下,电子和正离子分别向阳极、阴极运动,并在此过程中堆积在两极附近形成空间电荷区 。又因为正离子的漂移速度远小于电子,所以正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区要大得多,让整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内。这也是辉光放电的显著特征,而且在辉光正常放电时,两极间电压不会随着电流的改变而发生变化。

等离子清洗机

       等离子清洗机为什么会产生辉光呢?原因就在于等离子清洗机在使用过程中,会使用不同的气体进行工艺处理。不同气体中的能级均具有不同的能量转换,不同工艺气体显示了不同特点的发光,并因此产生不同特征的颜色。每种气体电子跃迁时发出的光波长都不一样,所以也就能够看到不同颜色的辉光了。当然你加大功率到一定程度看起来都是白光,因为光子太多了。

真空等离子清洗机

       经常在等离子清洗工艺流程中使用的气体的典型颜色如下所述:

       CF4:蓝色     

       SF6:淡蓝色 

       SiF4:浅蓝色 

       SiCl4:浅蓝色 

       Cl2:浅绿色 

       CCl4:浅绿色 

       H2:粉红色 

       O2:淡黄色 

       N2:红色至黄色 

       Br2:红色 

       He:红色至紫色 

       Ne:砖红色 

       Ar:暗红色


       等离子清洗机产生的辉光颜色不仅可用于识别工艺气体,还可以用于定性评估工艺气体是否含有污染物。

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